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芯率智能申请一种机台的数据分类方法及系统专利,对海量数据点进行预处理及重点分类

hqy hqy 发表于2025-04-12 23:21:45 浏览4 评论0百度已收录

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金融界2025年3月28日消息,国家知识产权局信息显示,芯率智能科技(苏州)有限公司申请一项名为“一种机台的数据分类方法及系统”的专利,公开号CN 119691623 A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆数据处理技术领域,具体涉及一种机台的数据分类方法及系统,其包括:获取反应机台的工作指标的数据点,根据数据点拟合多个第一数值曲线,对其进行数据处理以获取到多个第二数值曲线;从多个第二数值曲线中分选出一类曲线,且一类曲线与第一参考曲线之间的相似度小于或等于第一相似阈值;获取多个故障类型,并根据故障类型分别确定对应的多个数据变化类型;根据多个数据变化类型对多个一类曲线执行第二次分类操作,以将一类曲线分为多个曲线数据集。本发明提出了一种基于曲线变化特征的多级分类方法,以对海量的数据点进行预处理及重点分类,进而便于晶圆工程师对其进行针对性地介入分析。

天眼查资料显示,芯率智能科技(苏州)有限公司,成立于2022年,位于苏州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1234.5908万人民币,实缴资本1078.8034万人民币。通过天眼查大数据分析,芯率智能科技(苏州)有限公司共对外投资了4家企业,财产线索方面有商标信息2条,专利信息10条,此外企业还拥有行政许可2个。