应用材料公司申请具成本效益的射频阻抗匹配网络专利，提供用于射频电力生成操作所需的RF传感器的快速且不昂贵的修理及替换

本文源自:金融界

金融界2025年5月21日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“具成本效益的射频阻抗匹配网络”的专利，公开号CN120019467A，申请日期为2022年12月。

专利摘要显示，本文提供的实施方式大体而言包括用于射频(RF)电力生成操作所需的RF传感器的快速且不昂贵的修理及替换的等离子体处理系统中的设备及方法，以及用于在其中的半导体处理期间在等离子体腔室中生成等离子体的阻抗匹配装备。在等离子体处理系统的装备之间的灵活通信允许共享处理信息及装备设置，用于在制造工艺期间的多个半导体晶圆的分批处理。主等离子体处理系统的操作设置可用于控制多个从处理系统的操作。此外，主等离子体处理系统的操作设置可记录并且重新用于控制多个从处理系统。