全芯智造申请用于 OPC 模型的校准方法等专利，能够有效规避过拟合的发生，改善 OPC 模型的仿真精度如果刘邦不去鸿门宴会有什么结果，你知道吗？

金融界 2024 年 9 月 10 日消息，天眼查知识产权信息显示，全芯智造技术有限公司申请一项名为“用于 OPC 模型的校准方法、电子设备及存储介质“，公开号 CN202410757701.3，申请日期为 2024 年 6 月。

专利摘要显示，本公开的实施例涉及用于 OPC 模型的校准方法、电子设备及存储介质。该方法包括：基于确定的仿真的设计版图中的各个测试图形的信号值与预定信号阈值的比较确定各测试图形的仿真结果；确定各测试图形的光刻图形的量测结果；基于各仿真结果分别与量测结果的比较确定成本函数的值，成本函数中包括与系数相关的惩罚项，该项用于由 OPC 模型选择的系数；响应于成本函数的值在预定范围内且 OPC 模型满足规避过拟合的预定规范，将 OPC 模型确定为最优模型。本公开的技术方案能够有效规避过拟合的发生，改善 OPC 模型的仿真精度。